可定制化提供安全稳定的尾气处理解决方案，设备均为国产自主研发，符合欧盟CE及SEMI2认证标准

主要设备类型：

♦干式吸附设备（单桶/干桶）

适用气体：氯气、氟气、氟化氢，氯化氢，氨气、硫化氢，硅烷，砷烷等

♦加热水洗设备

♦天然气燃烧水洗设备

♦纯水洗设备

适用气体：氯化氢、氟化氢、氯气、三氯化硼、二氯二氢硅、溴化氢、三氯氧磷、氨气等

♦防爆水洗净化设备

适用气体：氯化氢、氟化氢、氯气、三氯化硼、二氯二氢硅、溴化氢、三氯氧磷、氨气等

外延专用防爆水洗设备

♦等离子水洗设备

♦高温催化裂解吸附设备

♦高温裂解水冷设备

GaN专用设备，大宗气体专用

♦DE-NOX净化设备

NOX专用设备，符合国家对环保及温室效应气体排放要求

♦SiC外延净化设备

陶土加热水洗设备为SiC专用设备

♦EPI专用净化设备

水洗陶土加热水洗设备为EPI专用设备