LONGWELL RC-GL系列液体输送设备集成了液态源供应及分配功能，能有效地提高了液态源传输的效率和性能。

独立系统包括自动控制系统、原液储罐、日常供应罐以及控制盘面，占地面积小，处理能力大。采用推气增压的方式为液态源供应及分配。

在日常供应罐系统上，液位具有线性指示功能(选配于实时监测日常供应罐内液位。高精度磅秤选项提供每次运行重量，以实现严格的过程

控制)。PLC组件与我们的GC和VMB控制器系列一致，可以减少备件库存。LDS是一个全自动系统，有效保障人员操作安全，提升供应性能。

产品性能：

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·  液体推动气体通过调压阀调节，确保输送压力稳定; 

·  可为不同机台提供相匹配的接口;标配2~6 Sticks Outlet;

·  预留真空泵接口;可选配脱气装置;

·  日常供应罐，用于在储罐更换期间继续供应;

·  日常供应罐选配线性液位传感器，用于实时液位指示; 

·  高精度磅秤可监视生产过程中重量数据;自动补液功能; 

·  可将原液储罐内液态源自动填充至日常供应罐;

·  控制系统采用冗余直流电源，稳定供应给PLC、触摸屏、电磁阀等; 

·  12寸全彩显示屏，可见度高，交互界面稳定且便于操作;

·  提供整个面板的图形显示，监视系统运行状态;

·  在正常操作、吹扫和手动模式下显示各阀门开闭状态。

·  BPSG: TEOS, TEB, TEPO;

·  HIGH-K电介质: 4MS, DMPS, DMDMOS, TMCTS;LOW-K电介质: TDMAS, TMA;

·  模块化结构，便于服务和维护;符合 SEMI-S2 标准。